潔凈室現(xiàn)場測試結(jié)果及討論分析

潔凈室現(xiàn)場測試結(jié)果及討論分析:

本文是根據(jù)我司在建潔凈室時測試結(jié)果及分析供大家參考！
>>測試結(jié)果127點VESDA時間由40秒到260秒不等，回風(fēng)層大多數(shù)測試點可以120秒標(biāo)準(zhǔn)要求下偵測到現(xiàn)場放煙，超過120秒之測試位置如圖2及圖3上灰階方塊所示，圖上向量箭頭代表放煙後偵測器作動之煙流方向。
>>放煙測試失敗地點有在潔凈室區(qū)域成品及半成品倉庫(Stocker)附近及排氣系統(tǒng)管末盲板(End-cap)附近。由現(xiàn)場放煙時可以清楚發(fā)現(xiàn)煙被排氣管末盲板及倉庫吸入，工程設(shè)計時應(yīng)先鑒認類似上述吸氣位置。

必須要提醒，半導(dǎo)體廠與4/5 G TFT-LCD廠在Stocker設(shè)計不同∶

半導(dǎo)體廠Stocker只有潔凈室高，因此內(nèi)部正壓是把煙吹離Stocker;4/5 G TFT-LCD廠由於玻璃面板大， Stocker通常設(shè)計為垂直連通一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室層，內(nèi)部正壓在一樓回風(fēng)層仍是將把煙吹離Stocker，但是二樓潔凈室層卻是把煙吸入Stocker并經(jīng)過濾清除，因此在Stocker附近測試不合格(超過120秒)是必然的事。>一樓回風(fēng)層及二樓潔凈室層內(nèi)部仍有一些位置測試不合格(超過120秒)，但是依據(jù)實測都在260秒內(nèi)作動，因此初步研判VESDA作動應(yīng)與氣流速度有關(guān)。記錄所有測試位置之距離、作動所需時間、潔凈室平均下降垂直層流速度，提出經(jīng)驗公式如下，未來期望有更多的現(xiàn)場測試以驗證此經(jīng)驗式變成通用公式。

警戒區(qū)垂直冷盤(Dry Coiler)之長度[公尺]=每小時換氣次數(shù)/3600×潔凈室高度[公尺]×風(fēng)扇過濾模組覆蓋率[%]×120[秒]=平均潔凈室下降氣流速度[公尺/秒] ×120[秒]

於本研究中，VESDA驗收設(shè)定120秒警戒區(qū)長度，因潔凈室內(nèi)各區(qū)每小時換氣次數(shù)不同(潔凈度不同)，大約是24至35公尺如圖3所示。
上述方程式對300mm晶圓廠及第5代TFT-LCD廠十分重要，因為在這些新廠潔凈室高度大輻增加，此外，為了節(jié)約能源垂直下降氣流速度降低，因此VESDA布點設(shè)計就完全不同於一般8寸晶圓廠或第4代TFT-LCD廠。

>>不可否認仍有一些位置放煙後行為奇特，無法合理解釋。但是在其附近再增加測試點其結(jié)果滿足驗收標(biāo)準(zhǔn)，關(guān)於此點仍需進一步研究。
實驗中也有發(fā)現(xiàn)某些放煙位置會有二組VESDA作動，為求監(jiān)測范圍建立正確性，都以最先作動者為基本資料。

>>VESDA原廠設(shè)計也經(jīng)由此研究比對及修正，如圖4所示，不同VESDA警戒區(qū)域標(biāo)示與其VESDA相同編號。在此區(qū)域內(nèi)，如果有煙產(chǎn)生，根據(jù)實驗VESDA應(yīng)能很快作動，緊急應(yīng)變?nèi)藛T(ERT)可以先搜尋上述由實驗找出的各監(jiān)測器有效監(jiān)測范圍，而不必搜尋全部空間。

>>為使偵煙時間縮短許多廠商幾乎是冷盤前方及整個夾心層下方都有布點，通常需要100套以上VESDA，成本約2500~3000萬臺幣。二次布點通常要布在夾心層下方，藉由現(xiàn)場全尺度測試，可以清楚知道只有潔凈室中間區(qū)域(標(biāo)示2nd design)是需要二次布點設(shè)計(如圖4所示)，而不是整個夾心層(Waffle Slab)下方都需要布點，如此一來可節(jié)省至少1000萬臺幣。其設(shè)計密度依據(jù)原廠建議仍訂為每套300平方公尺。

>>藉由現(xiàn)場測試，編號52-53及56-58之VESDA警戒區(qū)特別小，VESDA受環(huán)境影響功能不佳之結(jié)果或程度，目前尚不清楚，下降氣流速度應(yīng)該是重要因素之一，由本個案研究可暫時推論∶放煙位置下降氣流速度小於0.05m/s時不合格可能性極高。

>>利用過載電流通過直徑小的電線，最好使用BS6266規(guī)定之PE線。如果使用PVC披覆線材產(chǎn)生的戴奧辛對人體有害，且是否會產(chǎn)生微小煙粒殘留及其對潔凈室所可能造成的影響，目前無相關(guān)研究報告。

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